Paddy menjelaskan, dalam integrasi micromachining ini dirinya mengintegrasikan antara Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) dengan kombinasi dari sensor dan penggiat elektronik dimana MEMS juga mencakup didalam kombinasi ini.
MEMS adalah sebuah proses teknologi yang digunakan untuk membuat perangkat terintegrasi dalam ukuran kecil. MEMS juga bisa dibilang sistem yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. "Perangkat ini dibuat menggunakan sirkuit terpadu (IC) dengan beberapa teknik pemrosesan," terang Paddy.
Pada umumnya MEMS terdiri dari struktur mikro-mekanik, mikro-sensor, mikro-akuator, dan mikro-elektronika. Dimana semuanya terintegrasi kedalam sebuah chip silikon. "Perangkat MEMS ini memiliki kemampuan untuk merasakan, mengontrol, dan berjalan pada skala mikro, serta menghasilkan efek pada skala makro," ujarnya.
Dalam dunia industri MEMS bisa juga diaplikasikan dalam berbagai bidang misalnya dalam bidang otomotif, elektronik, kesehatan, komunikasi dan pertahanan. Untuk bidang otomotif sendiri aplikasi mems bisa digunakan dalam sensor internal navigasi dan sensor pendingin kompresor. Sedangkan untuk elektronik dan pertahanan misalnya dengan sensor pendekteksian gempa bumi, dan arming system.
"Bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS secara umum adalah silikon," terangnya. Silikon merupakan bahan yang jumlahnya sangat berlimpah serta murah. Selain itu kemampuan silikon untuk dapat disimpan dalam film tipis sangat sesuai untuk MEMS. Tidak hanya itu, bisa pula disimpan di grapen, plastic, polimer, kertas, SiC, dan lain sebagainya.
Adapun proses Fabrikasi MEMS diklasifikasikan menjadi tiga bagian, yaitu bulk micromachining, surface micromachining dan high aspect ratio micromachining. Adapun maksud dari bulk micromachining adalah struktur-truktur dibentuk dalam substrat silikon, sedangkan surface micromachining lapisan-lapisan mikromekanis dibentuk dari lapisan-lapisan dan film-film yang dideposisikan pada permukaan silikon. (ila/akh).
