Perpustakaan ITS bermula dari Perpustakaan Yayasan Perguruan Tinggi Teknik 10 November (YPTT), yang didirikan pada tahun 1959 dan berlokasi di Jl. Embong Ploso 12 Surabaya. Koleksi perpustakaan yang diperoleh saat itu adalah Sumbangan dari penasehat YPPT atas nama Prof. A.G. Pringgodigdo, Seorang professor wanita dari Amerika Serikat, United State Operation Mission (USOM) dan yang terakhir dari PT Shell. Pada awal pendirian Perpustakaan ini pegawainya hanya 2 orang.
Perpustakaan ITS diresmikan tahun 1960 bersamaan dengan diresmikannya ITS menjadi Perguruan Tinggi Negeri. Pada saat itu jumlah pegawai bertambah menjadi 5 orang yang terdiri dari 3 orang wanita dan 2 orang pria. Pada tahun 1966 Perpustakaan ITS pindah ke Jalan Baliwerti 119-121 Surabaya, dan menempati ruang seluas 220 m2 dengan jumlah pegawai menjadi 8 orang yang terdiri dari 4 wanita dan 4 pria. Pada tahun 1967, perpustakaan mendapat tambahan seorang pegawai baru lulusan Akademi Perpustakaan sehingga pegawainya menjadi 9 orang. Pada tahun 1975 Perpustakaan ITS pindah ke jalan Cokroaminoto 12A Surabaya, dan menempati ruang seluas 300 m2
Pada tahun 1982 Perpustakaan ITS pindah kampus ITS Sukolilo dan menempati 1707 m2. Pada bulan Maret tepatnya tahun1995, Perpustakaan ITS menempati gedung seluas 7.500 m2 yang terdiri 5 lantai.
Pimpinan Perpustakaan sejak berdirinya sampai dengan sekarang adalah : Tahun 1960-1962 : ……. Tahun 1962 – 1964 : Bapak Poerwono Tahun 1964 – 1965 : Dra. Siti Aisyah Prayogo, MA Tahun 1965 : Drs. Parlinah Moedjono, MA Tahun 1965 – 1966 : Drs. Sugimin Wahyu Winoto Tahun 1966 – 1973 : Dra. Parwati Soemarto D Tahun 1973 – 1974 : I Ketut Sandhi, MSc. Tahun 1974 – 1979 : Dra. Subaidah Tahun 1979 – 1995 : Dra. Narkanti Wijadi Tahun 1995 – 2007 : Drs. Achmad, MA Tahun 2007 – 2016 : Drs. Mansur Sutedjo, SIP Tahun 2016 – sekarang : Edy Suprayitno, SS, M.Hum
Dengan berlakunya P.P. No.5 tahun 1980 yang kemudian dikembangkan dengan adanya SK Menteri Pendidikan dan Kebudayaan No. 0144/0/1983, Perpustakaan ITS menjadi Unit Pelaksana Teknis (UPT). Sejalan dengan bertambahnya aktivitas ITS, maka UPT Perpustakaan ITS terus berkembang jumlah sarana dan prasarananya, luas gedung serta jumlah koleksinya, serta struktur organisasipun semakin baik.