Departemen Teknik Fisika dipimpin oleh seorang kepala Departemen dengan membawahi satu kepala program studi dan dua orang sekretaris departemen. Selain itu, kepala Departemen juga membawahi tujuh kepala laboratorium yang didalamnya juga mempunya stuktur organisasi tersendiri. Departemen Teknik Fisika juga dibantu oleh beberapa staf yang bertugas dalam admnistrasi Departemen
Gunawan Nugroho, S.T., M.T., Ph.D. (Profile)
Dr. Erna Septyaningrum, S.T., M.T (Profile)
Dr. Ridho Hantoro, S.T., M.T. (Profile)
Dr.Eng. Nur Laila Hamida, S.T., M.Sc. (Profile)
Dr.rer.nat. Ir. Aulia M. T. Nasution, M.Sc. (Profile)
Detak Yan Pratama, S.T., M.Sc. (Profile)
Agus Muhamad Hatta, S.T., M.Si., Ph.D. (Profile)
Iwan Cony Setiadi, S.T.,M.T. (Profile)
Prof. Dr. Ir. Sekartedjo, M.Sc. (Profile)
Dr.-Ing. Doty Dewi Risanti, S.T., M.T. (Profile)
Dr. Lizda Johar Mawarani, S.T., M.T. (Profile)
Dr.rer.nat. Ruri Agung Wahyuono, S.T., M.T. (Profile)
Dyah Sawitri, S.T., M.T. (Profile)
Prof. Totok Ruki Biyanto, S.T., M.T., Ph.D. (Profile)
Moh Kamalul Wafi, S.T., MSc.DIC (Profile)
Prof. Dr. Ir. Aulia Siti Aisjah, M.T. (Profile)
Dr. Ir. Purwadi Agus Darwito, M.Sc. (Profile)
Prof. Dr. Ir. Ali Musyafa, M.Sc. (Profile)
Ir. Harsono, M.Sc., Ph.D. (Profile)
Dr. Imam Abadi, S.T., M.T. (Profile)
Dr. Muhammad Khamim Asy’ari, S.T., M.T. (Profile)
Dr. Ir. Ronny Dwi Noriyati, M.Kes (Profile)
Dr. Ir. Syamsul Arifin, M.T. (Profile)
Dr. Suyanto, S.T., M.T. (Profile)
Dr. Bambang L. Widjiantoro, S.T., M.T. (Profile)
Andi Rahmadiansah, S.T. M.T. (Profile)
Prof. Dr. Katherin Indriawati, S.T., M.T. (Profile)
Ir. Wiratno Argo Asmoro, M.Sc. (Profile)
Herny Ariesta Budiarti, S.T., M.T. (Profile)