Fasilitas di Departemen Teknik Fisika FT-IRS ITS setiap tahunnya dikembangkan seiring dengan perkembangan proses belajar mengajar yang memerlukan prasarana dan fasilitas yang memadai, sampai dengan awal tahun 2018 beberapa pembangunan dan perbaikan masih dikerjakan.
Departemen Teknik Fisika menempati ruang di gedung E lantai I dan II serta beberapa ruang di gedung C dan gedung P Kampus ITS Sukolilo dengan total luas lantai sebesar ± 4.000 m2. Luasan tersebut dibagi untuk pelaksanaan kegiatan akademis dan pengelolaan administrasi. Untuk mengakomodasikan kebutuhan yang ada, ruangan dibuka mulai pukul 07.00 sampai dengan pukul 22.00 WIB selama 5 hari kerja per minggu.
Ruang perkuliahan seluruhnya telah dilengkapi dengan sarana belajar mengajar yang standar, seperti LCD, white board, OHP, multimedia projector, air conditioning dan CCTV sehingga memberikan suasana yang nyaman dalam belajar dan menjalani proses pembelajaran dengan baik. Lingkungan sekitar ditumbuhi pepohonan yang menambah keasrian kampus. Semua area sudah ter-cover dengan jaringan internet (WiFi). Untuk keperluan ibadah, tersedia musholla diarea hutan TF dan Masjid ITS yang berkapasitas 5.000 jamaah. Untuk kebutuhan makan dan minum, mahasiswa mudah memenuhinya, karena ada kantin khusus di area departemen.
Fasilitas belajar yang ada diantaranya adalah ruang baca dan ruang laboratorium. Buku referensi terbaru untuk ruang baca dan peralatan laboratorium terus dilakukan penambahan secara bertahap agar terjadi pengayaan wawasan untuk tugas akhir mahasiswa dan penelitian dosen. Selama 3 tahun ini, koleksi ruang baca bertambah 473 buku dengan rincian 11% dari PHKI Tema B, 40% dari wisudawan, 30% dari SPP/DPP, dan 15% dari denda mahasiswa. Adapun peralatan laboratorium dalam 3 tahun terakhir bertambah yang dananya berasal dari kegiatan PHKI dan SPP/DPP.
Ruang dosen menempati lantai II gedung C dan gedung P, dengan jumlah 36 ruangan dan total luas lantai 288 m2, tidak termasuk ruang khusus ketua dan sekretaris program studi. Sebanyak 24 ruang ditempati oleh 2 dosen, 11 ruang ditempati oleh 1 dosen, dan 1 ruang ditempati oleh 3 dosen. Ruang dosen berfungsi sebagai ruang kerja, tempat konsultasi dan pembimbingan serta diskusi perkuliahan, dan hal lain yang berhubungan dengan pekerjaannya sebagai seorang dosen. Selain itu setiap laboratorium bidang minat juga memiliki ruangan khusus dosen (kepala laboratorium) yang ditujukan sebagai prasarana kegiatan diskusi antara dosen dan mahasiswa yang mengerjakan penelitian tugas akhir maupun penelitian dosen di laboratorium masing-masing.