Fasilitas di Departemen Teknik Fisika FT-IRS ITS setiap tahunnya dikembangkan seiring dengan perkembangan proses belajar mengajar yang memerlukan prasarana dan fasilitas yang memadai, sampai dengan awal tahun 2018 beberapa pembangunan dan perbaikan masih dikerjakan.
Departemen Teknik Fisika menempati ruang di gedung E lantai I dan II serta beberapa ruang di gedung C dan gedung P Kampus ITS Sukolilo dengan total luas lantai sebesar ± 4.000 m2. Luasan tersebut dibagi untuk pelaksanaan kegiatan akademis dan pengelolaan administrasi. Untuk mengakomodasikan kebutuhan yang ada, ruangan dibuka mulai pukul 07.00 sampai dengan pukul 22.00 WIB selama 5 hari kerja per minggu.
Ruang perkuliahan seluruhnya telah dilengkapi dengan sarana belajar mengajar yang standar, seperti LCD, white board, OHP, multimedia projector, air conditioning dan CCTV sehingga memberikan suasana yang nyaman dalam belajar dan menjalani proses pembelajaran dengan baik. Lingkungan sekitar ditumbuhi pepohonan yang menambah keasrian kampus. Semua area sudah ter-cover dengan jaringan internet (WiFi). Untuk keperluan ibadah, tersedia musholla diarea hutan TF dan Masjid ITS yang berkapasitas 5.000 jamaah. Untuk kebutuhan makan dan minum, mahasiswa mudah memenuhinya, karena ada kantin khusus di area departemen.