Program studi Teknik Industri berdiri pada tahun 1985, sesuai dengan SK Dirjen DIKTI No. 048/DJ/Kep/1985. Selanjutnya berdasarkan Sk Dirjen DIKTI No. 89/DIKTI/Kep/1996 yang dikeluarkan pada tahun 1996, program studi Teknik Industri berubah menjadi Departemen Teknik Industri.

Departemen Teknik Sistem dan Industri merupakan salah satu jurusan terbesar di ITS dan telah berhasil dalam usahanya mengembangkan program-program pendidikannya, hal ini dicerminkan dengan didapatnya akreditasi A oleh Badan Akreditasi Nasional (BAN) Surat Keputusan nomor : 014 Tahun 2011. Departemen Teknik Sistem dan Industri juga telah menerima akreditasi dari AUN QA pada level ASEAN dan ABET level (Accredited Board of Engineering and Technology) dari USA.

Departemen Teknik Sistem dan Industri ITS merupakan salah satu jurusan teknik industri terbaik di Indonesia. Iklim belajar level internasional sangat dapat dirasakan di Departemen ini sejak dibukanya program sarjana internasional pada tahun 2019. Hal ini mendorong mahasiswa untuk memiliki wawasan global dan dapat menjadi penggerak untuk kegiatan internasionalisasi di ITS. Saat ini, alumni Departemen Teknik Sistem dan Industri ITS sudah mencapai 1000 orang profesional yang tersebar di berbagai sektor industri baik nasional maupun internasional.