Program Studi Diploma III (tiga) yang ada di ITS pada awalnya didirikan oleh Yayasan Perguruan Tinggi Teknik 10 Nopember Surabaya, pada Tanggal 10 Nopember 1957 bersama-sama dengan berdirinya ITS, yang awalnya bernama PAT (Pendidikan Ahli Teknik). Selanjutnya berdasarkan SK. Menteri Pendidikan dan Pengajaran No. 93367/U.U, yang kemudian diperbaharui melalui SK. Menteri PDK No. 101250/U.U tanggal 3 Desember 1960. Pada saat itu mempunyai 5 Fakultas yaitu : Fakultas Teknik Sipil (FTS), Fakultas Teknik Mesin (FTM), Fakultas Teknik Kimia (FTK), Fakultas Teknik Elektro (FTE), Fakultas Teknik Perkapalan (FTP).

Pada tahun 1965 ITS membuka 2 (dua) Fakultas baru yaitu Fakultas Matematika dan Pengetahuan Alam (FMIPA) dan Fakultas Teknik Arsitektur. Dari 7 (tujuh) Fakultas yang memiliki program Pendidikan Ahli Teknik (PAT) sebanyak 5 (lima) Fakultas, yaitu FTS, FTM, FTK, FTE dan FTP. Selanjutnya berdasarkan SK. Menteri pendidikan dan Kebudayaan No. 0557/0/1983 tentang jenis dan jumlah jurusan pada Fakultas di lingkungan ITS maka berubah menjadi 4 Fakultas yaitu : Fakultas Matematika dan Pengetahuan Alam (FMIPA), Fakultas Teknologi Industri (FTI), Fakultas Teknologi Sipil dan Perencanaan (FTSP), dan Fakultas Teknologi Kelautan (FTK).

Keberadaan PAT dikumpulkan dibawah naungan satu manajemen, yaitu Fakultas Non Gelar Teknik (FNGT). Pada saat itu, FNGT sangat memfokuskan pada pendidikan vokasi untuk menghadapi tantangan sesuai dengan kebutuhan yang ada pada masa itu. Banyak kerjasama yang telah dijalin, baik dengan industri, pemerintah daerah hingga kerja sama luar negeri. Namun, setelah beberapa jurusan mendapat hibah untuk dijadikan Politeknik dan juga setelah keluarnya SK. Menteri pendidikan dan Kebudayaan No. 0312/0/1991 tanggal 6 Juni 1991 maka keberadaan FNGT dibubarkan dan pendidikan diploma dikembalikan ke jurusan masing-masing sampai dengan saat ini.

Sejak tahun 1975, Fakultas Teknik Sipil dan Perencanaan menyelenggarakan Program Diploma III Pendidikan Pekerjaan Umum atas kerjasama dengan Kementerian Pekerjaan Umum Republik Indonesia. Disamping itu, juga pernah dilakukan program kerjasama Kementerian PU untuk Program Diploma IV (Empat) TPLP, kerjasama pendidikan DIV (Empat) dengan DIKMENJUR (Direktorat Pendidikan Menengah Kejuruan) melalui PPPPTK / VEDC (Pusat Pengembangan dan Pemberdayaan Pendidik dan Tenaga Kependidikan / Vocational Education Development Center), kerjasama dengan Keempat Pemerintah Daerah di Madura untuk pendidikan Diploma III (Tiga). Dari kerjasama tersebut telah menghasilkan ribuan alumni, tepatnya 5.503 mahasiswa sampai dengan wisuda September 2014 . Hal tersebut membuktikan bahwa Prodi Diploma Teknik Sipil ITS telah mempunyai pengalaman dalam penyelenggaraan pendidikan vokasional pada bidang teknik sipil.

Pada periode 2003-2007 Prodi Diploma Teknik Sipil mendapatkan hibah kompetisi Technological and Professional Skill Development Project (TPSDP) dari Dirjen Pendidikan Tinggi Departemen Pendidikan Nasional untuk perbaikan kualitas pendidikan diploma Teknik Sipil. Program TPSDP telah meningkatkan kualitas sekaligus kapasitas Prodi Diploma Teknik Sipil untuk berkembang kompetitif. Hasil program TPSDP antara lain kualitas dosen dengan gelar magister telah meningkat pada akhir program, fasilitas pendukung pendidikan, penelitian dan pengabdian pada masyarakat semakin lengkap, tidak hanya mampu untuk mendukung penyelenggaraan program pendidikan terapan (Diploma). Dengan demikian melalui program TPSDP, Prodi Diploma Teknik Sipil sudah mampu memberikan peran yang sangat signifikan dalam meningkatkan kualitas lulusan di pasar global. Sejak Tahun 2005 Prodi Diploma III (Tiga) Teknik Sipil terakreditasi dengan SK BAN-PT Dikti No. 00457/Ak-V/Dpl-III-012/ITSLDS/X/2005T dan direakreditasi dengan SK BAN-PT Dikti No. 007/BAN-PT/Ak-XII/Dpl-III/V/2012.